Die wafer is gemaak van suiwer silikon (Si). Oor die algemeen verdeel in 6-duim, 8-duim en 12-duim spesifikasies, word die wafer op grond van hierdie wafer vervaardig. Silikonwafels wat van hoë-suiwer halfgeleiers voorberei is deur prosesse soos kristaltrek en sny word wafers genoem.gebruik hulle is rond van vorm. Verskeie stroombaanelementstrukture kan op die silikonskyfies verwerk word om produkte met spesifieke elektriese eienskappe te word. funksionele geïntegreerde stroombaan produkte. Wafers gaan deur 'n reeks halfgeleiervervaardigingsprosesse om uiters klein stroombaanstrukture te vorm, en word dan gesny, verpak en getoets in skyfies, wat wyd in verskeie elektroniese toestelle gebruik word. Wafer-materiale het meer as 60 jaar van tegnologiese evolusie en industriële ontwikkeling ervaar, wat 'n industriële situasie vorm wat deur silikon oorheers word en aangevul word deur nuwe halfgeleiermateriale.
80% van die wêreld se selfone en rekenaars word in China vervaardig. China maak staat op invoer vir 95% van sy hoëprestasieskyfies, dus bestee China elke jaar VS$220 miljard om skyfies in te voer, wat twee keer China se jaarlikse olie-invoer is. Alle toerusting en materiale wat verband hou met fotolitografiemasjiene en skyfieproduksie word ook geblokkeer, soos wafers, hoë-suiwer metale, etsmasjiene, ens.
Vandag sal ons kortliks praat oor die beginsel van UV-lig-uitwissing van wafermasjiene. Wanneer data geskryf word, is dit nodig om lading in die drywende hek in te spuit deur 'n hoë spanning VPP aan die hek toe te pas, soos in die figuur hieronder getoon. Aangesien die ingespuite lading nie die energie het om die energiewand van die silikonoksiedfilm binne te dring nie, kan dit net die status quo handhaaf, dus moet ons die lading 'n sekere hoeveelheid energie gee! Dit is wanneer ultraviolet lig nodig is.
Wanneer die drywende hek ultraviolet bestraling ontvang, ontvang die elektrone in die drywende hek die energie van ultraviolet lig kwanta, en die elektrone word warm elektrone met energie om die energiewand van die silikonoksiedfilm binne te dring. Soos in die figuur getoon, dring warm elektrone die silikonoksiedfilm binne, vloei na die substraat en hek, en keer terug na die uitgevee toestand. Die uitvee-operasie kan slegs uitgevoer word deur ultravioletbestraling te ontvang, en kan nie elektronies uitgevee word nie. Met ander woorde, die aantal bisse kan slegs verander word van "1" na "0", en in die teenoorgestelde rigting. Daar is geen ander manier as om die hele inhoud van die skyfie uit te vee nie.
Ons weet dat die energie van lig omgekeerd eweredig is aan die golflengte van lig. Om elektrone warm elektrone te word en dus die energie te hê om die oksiedfilm binne te dring, is die bestraling van lig met 'n korter golflengte, dit wil sê ultravioletstrale, baie nodig. Aangesien die uitveetyd van die aantal fotone afhang, kan die uitveetyd nie verkort word nie, selfs by korter golflengtes. Oor die algemeen begin uitvee wanneer die golflengte ongeveer 4000A (400nm) is. Dit bereik basies versadiging rondom 3000A. Onder 3000A, selfs al is die golflengte korter, sal dit geen impak hê op die uitveetyd nie.
Die standaard vir UV-uitwissing is gewoonlik om ultravioletstrale te aanvaar met 'n presiese golflengte van 253.7nm en 'n intensiteit van ≥16000 μW/cm². Die uitveebewerking kan voltooi word deur blootstellingstyd wat wissel van 30 minute tot 3 uur.
Postyd: 22 Desember 2023